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1. HP Motor/HP Robot (0010-70264,0010-70317,0010-75533)
2. VHP Motor/VHP Robot (0010-70650, 0040-46995)
3. Load lock Indexer (0242-76375)
4. Brooks Automation MagnaTran 7 Robot (108000-07, 003-1600-25)
5. Lam Outdoor Cylinder
6. Lam Vacuum Cassette Elevator(VCE)
Service Item~Sales/Overhaul / Exchange/ Upgrade
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